COLUMN技術者コラム
フラウンホーファー回折を試してみた。
とあるところからのご依頼でフラウンホーファー回折を試すことになりました。
複数の微小ホールと少し大きめの文字が抜いてあるパターンにレーザ光を照射し、回折画像を取得しました。
この画像から逆問題解法で元のパターンを復元したいのですが、信号のダイナミックレンジが足らずに断念。シミュレーションで復元できるか試してみました。問題は位相復元技術なのですが。
↑定義したホールパターン
↑シミュレーションで得られた回折情報
↑再構成したパターン
やはり、位相復元技術が重要で再構成画像に差が出ていました。逆問題が難しいことを実感しました。
